真空擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。真空擋板閥按軸封結構可分GD-J型橡膠軸封和GD-J(b)型波紋管軸封兩種。按通導形式可分GD-J為角通型式,GD-S為帶預抽口的三通型式。 真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統接通或截止氣流。適用壓力范圍:軸封為橡膠時為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管結構時為1.3×10-5~105Pa。工作介質溫度:-25~80℃(密封件為丁橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料腈橡膠或氟橡膠。
超高真空擋板閥用于超高真空系統接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閥門開啟狀態,烘烤溫度小于400℃;閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質為潔凈的空氣或對閥門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強腐蝕性和含有顆粒狀態灰塵的氣體情況下長期使用。
高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點,形式多樣,規格齊全,公稱尺寸DN150~1200,結構合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統之中,如用于真空鍍膜設備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環模設備等。