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小型手動真空角閥$n主要性能指標$n1、適用范圍$n打開時閥板上的壓差:≤1.2×10Pa任意方向$n閥體和閥座漏率:≤1.3×10Pa·L·s$n建議*維修前循環次數: 200，000次$n閥體烘烤溫度:≤150℃

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